JEOL JCM-7000 NeoScope là kính hiển vi điện tử quét SEM để bàn phục vụ quan sát bề mặt, phân tích khuyết tật và kiểm soát chất lượng vật liệu. Máy kết hợp chế độ chân không cao/thấp, Live 3D và tùy chọn EDS để đánh giá hình thái cùng thành phần nguyên tố tại vùng quan tâm.
Một hạt lạ trên linh kiện, vết gãy trên chi tiết kim loại hay bất thường trên pad mạch điện thường đặt ra hai câu hỏi: bề mặt đã thay đổi như thế nào và vùng bất thường chứa những nguyên tố gì? Kính hiển vi quang học hỗ trợ tìm vị trí, nhưng có thể chưa cung cấp đủ thông tin về hình thái và thành phần để đánh giá vấn đề.
JEOL JCM-7000 NeoScope là kính hiển vi điện tử quét để bàn, còn gọi là benchtop SEM hoặc tabletop SEM. Máy giúp phòng QC và R&D khảo sát cấu trúc bề mặt, quan sát dị vật và thu thập dữ liệu phục vụ phân tích lỗi. Khi trang bị hệ thống phổ tán sắc năng lượng tia X EDS, người dùng có thể kết hợp ảnh SEM với phân tích nguyên tố ngay trong quá trình quan sát.
Với tùy chọn Stage Navigation System, chức năng Zeromag liên kết ảnh quang học với ảnh SEM: tìm vùng quan tâm trên ảnh tổng thể rồi phóng lớn để chuyển sang quan sát chi tiết. Bàn mẫu X–Y điều khiển bằng động cơ hỗ trợ di chuyển giữa các vị trí cần kiểm tra.
Chế độ chân không cao cho phép thu ảnh điện tử thứ cấp và điện tử tán xạ ngược. Chế độ chân không thấp hỗ trợ quan sát nhiều mẫu không dẫn điện bằng ảnh điện tử tán xạ ngược mà không cần phủ dẫn điện trước. Cách chuẩn bị vẫn cần chọn theo vật liệu, tình trạng mẫu và mục tiêu phân tích.
Nếu nhu cầu chính là quan sát hình thái, cần làm rõ kích thước mẫu, vật liệu, vùng cần khảo sát và mức chi tiết mong muốn. Nếu cần đánh giá thành phần nguyên tố hoặc phân bố nguyên tố, nên xem xét EDS với Live Analysis và Live Map. Stage Navigation System phù hợp khi thường xuyên phải tìm lại vị trí nhỏ trên mẫu; giá nghiêng–xoay và phần mềm SMILE VIEW Map là những tùy chọn cho nhu cầu khảo sát mở rộng.
JCM-7000 và JCM-7000Plus là hai phiên bản khác nhau. Các thông số trên trang này áp dụng cho JCM-7000; cấu hình chào hàng cần được xác nhận theo đúng phiên bản và phụ kiện lựa chọn.
Gửi loại vật liệu, kích thước mẫu, ảnh khuyết tật và mục tiêu quan sát hoặc phân tích nguyên tố để trao đổi cấu hình JEOL JCM-7000 phù hợp. Với mẫu khó, nên xác định tiêu chí đánh giá và điều kiện thử mẫu trước khi lựa chọn thiết bị.
Hotline: 0896 555 247
Email: xinchao@v-proud.vn
Ảnh quang học cung cấp bối cảnh tổng thể, còn ảnh SEM cho thấy cấu trúc chi tiết. Zeromag liên kết hai mức quan sát để người dùng chuyển từ vị trí đã nhận biết sang vùng phân tích thuận tiện hơn. Lợi ích rõ khi cần kiểm tra dị vật nhỏ hoặc nhiều vị trí trên cùng mẫu. Chức năng lấy ảnh quang học yêu cầu Stage Navigation System tùy chọn.
Chế độ LV hỗ trợ quan sát nhiều vật liệu cách điện bằng ảnh điện tử tán xạ ngược mà không cần phủ dẫn điện. Người dùng có thể giảm bước chuẩn bị và giữ bề mặt chưa phủ cho những phép khảo sát tiếp theo. Khi mục tiêu là ảnh điện tử thứ cấp trong chân không cao, mẫu cách điện có thể vẫn cần phủ dẫn điện.
Khi trang bị EDS, phổ nguyên tố và bản đồ phân bố nguyên tố có thể được theo dõi ngay trong quá trình quan sát. Nhờ đó, người dùng có thêm căn cứ chọn hạt hoặc vùng bất thường để phân tích sâu, thay vì chỉ dựa trên màu sắc hay hình dạng. Kết quả nguyên tố cần được diễn giải cùng điều kiện đo và bản chất mẫu.
Đầu dò điện tử tán xạ ngược bốn phân đoạn cung cấp tín hiệu để tái dựng bề mặt 3D đồng thời với ảnh SEM. Cách hiển thị này giúp đánh giá trực quan vùng nhô, lõm và địa hình khó nhận biết trên một ảnh phẳng. Các nhu cầu phân tích bề mặt chuyên sâu có thể xem xét phần mềm SMILE VIEW Map tùy chọn.
Các chức năng tự động căn chỉnh, lấy nét, hiệu chỉnh loạn thị và độ sáng/tương phản hỗ trợ thiết lập ảnh. Bàn mẫu X–Y có động cơ giúp di chuyển vùng quan sát thuận tiện, giảm thao tác cơ học khi kiểm tra nhiều vị trí. Người vận hành vẫn cần chọn điều kiện phù hợp với vật liệu và mục tiêu kiểm tra.
Phần mềm quản lý ảnh SEM, kết quả EDS và tọa độ vị trí tương ứng; ảnh quang học được liên kết khi có tùy chọn phù hợp. Việc giữ dữ liệu theo vùng quan sát giúp truy tìm kết quả, xem lại hoặc phân tích lại dữ liệu đã thu và chuẩn bị báo cáo có bối cảnh rõ hơn.
| Hạng mục | JCM-7000 |
|---|---|
| Loại thiết bị | Kính hiển vi điện tử quét để bàn (Benchtop SEM) |
| Độ phân giải | 8,0 nm tại 15 kV, WD 12 mm, chế độ chân không cao, ảnh điện tử thứ cấp |
| Độ phóng đại trực tiếp | 10×–100.000×, quy ước trên kích thước ảnh 128 × 96 mm |
| Độ phóng đại hiển thị | 24×–202.168×, quy ước trên kích thước ảnh 280 × 210 mm |
| Điện áp | 5 kV, 10 kV, 15 kV (3 mức) |
| Nguồn electron | Sợi đốt tungsten tích hợp cụm Wehnelt |
| Chế độ chân không cao | Ảnh điện tử thứ cấp; ảnh điện tử tán xạ ngược: thành phần, địa hình, bóng đổ và ảnh 3D |
| Chế độ chân không thấp | Ảnh điện tử tán xạ ngược: thành phần, địa hình, bóng đổ và ảnh 3D |
| Bàn mẫu | X–Y điều khiển bằng động cơ; hành trình X: 40 mm, Y: 40 mm |
| Kích thước mẫu tối đa | Đường kính 80 mm × chiều cao 50 mm |
| Độ phân giải ảnh thu nhận | 640 × 480; 1.280 × 960; 2.560 × 1.920; 5.120 × 3.840 pixel |
| Chức năng tự động | Căn chỉnh, lấy nét, hiệu chỉnh loạn thị, độ sáng/tương phản |
| Đo trên ảnh | Khoảng cách giữa hai điểm, góc, bề rộng đường |
| Định dạng ảnh | BMP, TIFF, JPEG, PNG |
| Kích thước thân máy (R × S × C) | 324 × 586 × 566 mm |
| Khối lượng thân máy | 67 kg |
| Môi trường phòng | 15–30 °C; độ ẩm 30–60% RH, không ngưng tụ |
| Tùy chọn chính | EDS; Stage Navigation System; giá nghiêng–xoay bằng động cơ (nghiêng −10° đến +45°, xoay 360°); phần mềm phân tích hạt; SMILE VIEW Map; thiết bị phủ mẫu |
Độ phân giải và độ phóng đại là các đại lượng khác nhau. Kết quả quan sát thực tế phụ thuộc mẫu, điều kiện vận hành và cấu hình; kích thước thân máy không bao gồm toàn bộ không gian bố trí máy tính, bơm và phụ kiện.
JEOL Ltd. được thành lập ngày 30/5/1949 tại Nhật Bản với nền tảng phát triển kính hiển vi điện tử. Tên JEOL bắt nguồn từ Japan Electron Optics Laboratory. Từ lĩnh vực quang học điện tử, hãng mở rộng sang thiết bị khoa học, đo lường và phân tích, phục vụ nghiên cứu vật liệu, khoa học sự sống và các ứng dụng công nghiệp.
Trong phân tích vi mô, hệ sinh thái JEOL gồm kính hiển vi điện tử quét SEM, kính hiển vi điện tử truyền qua TEM và các hệ thống phân tích liên quan. JEOL phát triển, sản xuất cả SEM và EDS, tạo nền tảng tích hợp giữa hình ảnh bề mặt và dữ liệu nguyên tố trong cùng quy trình làm việc. Với người dùng QC và R&D, giá trị nằm ở khả năng liên hệ vị trí khuyết tật, hình thái và thành phần để có dữ liệu đánh giá vấn đề.
Dòng SEM để bàn NeoScope hướng tới đưa quan sát vi mô vào môi trường làm việc thường ngày với thao tác dễ tiếp cận và cấu trúc gọn. JCM-7000 phát triển theo hướng kết nối các bước tìm vùng quan tâm, thu ảnh SEM và phân tích nguyên tố, đáp ứng nhu cầu mở rộng SEM từ nghiên cứu sang kiểm soát chất lượng và kiểm tra sản phẩm.
Mốc phát triển công nghệ của JEOL ghi nhận JCM-7000 Series NeoScope được hoàn thành trong năm 2018. Đây là mốc phát triển sản phẩm, phân biệt với thời điểm công bố thương mại.
Ngày 11/3/2019, JEOL công bố dòng JCM-7000 NeoScope với kế hoạch phát hành trong tháng 3/2019. Các điểm nhấn gồm giao diện đơn giản, Zeromag chuyển tiếp giữa ảnh quang học và SEM, Live Analysis với EDS, bàn mẫu X–Y có động cơ và Live 3D tái dựng bề mặt trong quá trình quan sát.
Những cải tiến này hướng đến một quy trình liền mạch: định vị vùng bất thường, xem chi tiết bề mặt, bổ sung dữ liệu nguyên tố khi có EDS và lưu kết quả để báo cáo. Thay đổi có ý nghĩa với người sử dụng là giảm sự tách rời giữa quan sát và phân tích, đồng thời giữ bối cảnh của từng vùng kiểm tra.
JEOL có phiên bản JCM-7000Plus với thông số riêng. Khi lựa chọn cấu hình hoặc so sánh báo giá, cần đối chiếu đầy đủ mã máy, điện áp, điều kiện độ phân giải và tùy chọn đi kèm. Trang này giới thiệu JCM-7000 NeoScope, dùng các mức điện áp 5, 10 và 15 kV.
(84) 896 555 247
Tiếng Việt
English