MarSurf WI 50 M là hệ thống máy đo bề mặt 3D quang học siêu chính xác đến từ thương hiệu Mahr (Đức), hoạt động dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry - WLI). Đây là một trong những công nghệ đo lường quang học tiên tiến nhất hiện nay, cho phép phân tích vi hình học, độ nhám và độ phẳng của bề mặt với độ phân giải đạt mức dưới nanomet (sub-nanometer).
MarSurf WI 50 M là hệ thống máy đo bề mặt 3D quang học siêu chính xác đến từ thương hiệu Mahr (Đức), hoạt động dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry - WLI). Đây là một trong những công nghệ đo lường quang học tiên tiến nhất hiện nay, cho phép phân tích vi hình học, độ nhám và độ phẳng của bề mặt với độ phân giải đạt mức dưới nanomet (sub-nanometer).
Khác với các hệ thống quét thông thường, công nghệ giao thoa ánh sáng trắng trên MarSurf WI 50 M có một đặc điểm độc đáo: độ phân giải theo trục Z (chiều sâu) là tuyệt đối và không bị phụ thuộc vào độ phóng đại của vật kính. Thiết bị này là lựa chọn tối ưu hàng đầu cho các viện nghiên cứu, phòng thí nghiệm QA/QC trong ngành công nghiệp bán dẫn, quang học, điện tử viễn thông và công nghệ y sinh – nơi yêu cầu những phép đo có độ chính xác gần như tuyệt đối.
Hệ thống MarSurf WI 50 M mang đến những lợi thế kỹ thuật vượt trội, đáp ứng các tiêu chuẩn đo lường khắt khe nhất:
Độ phân giải trục Z siêu việt: Khả năng đo chiều sâu đạt mức sub-nanometer (dưới 1 nanomet), giúp thiết bị dễ dàng phát hiện những vi cấu trúc siêu mỏng, các bậc (step height) cực nhỏ trên bề mặt linh kiện bán dẫn hoặc thấu kính quang học.
Không phụ thuộc vào vật kính (Objective-independent Z-resolution): Dù bạn sử dụng vật kính có độ phóng đại thấp (để có trường nhìn rộng) hay vật kính phóng đại cao, độ phân giải theo trục Z vẫn được giữ nguyên ở mức tối đa. Điều này giúp tối ưu hóa cả thời gian đo và độ chính xác.
Đo lường không tiếp xúc hoàn hảo: Sử dụng hoàn toàn ánh sáng quang học, không có đầu dò cơ học, đảm bảo không gây ra bất kỳ tác động, trầy xước hay biến dạng nào lên các vật mẫu siêu nhạy cảm.
Hiệu suất xuất sắc trên bề mặt phản xạ cao: Công nghệ WLI đặc biệt tỏ ra ưu việt khi đo lường các bề mặt siêu bóng, gương phản xạ, thủy tinh, tấm wafer bán dẫn và bề mặt kim loại được đánh bóng (polished surfaces) mà các phương pháp quang học khác thường gặp khó khăn.
Tính ổn định và chống rung tối đa: Toàn bộ hệ thống cơ khí và quang học được đặt trên nền đá granite khối vững chắc, kết hợp với các giải pháp chống rung thụ động/chủ động, loại bỏ hoàn toàn các nhiễu động từ môi trường bên ngoài để đảm bảo độ lặp lại xuất sắc.
Phân tích đa chiều: Hệ thống có thể đánh giá độ nhám 2D/3D, độ phẳng, biên dạng bậc (step height) và phân tích các cấu trúc siêu nhỏ phức tạp thông qua phần mềm điều khiển và đánh giá chuyên nghiệp chuẩn ISO.
| Hạng mục | Thông số kỹ thuật |
| Nguyên lý đo lường | Giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry - WLI) |
| Độ phân giải dọc (Trục Z) |
Dưới 1 nanomet (Sub-nanometer), độc lập với độ phóng đại của vật kính |
| Độ phân giải ngang (Trục X/Y) | Phụ thuộc vào vật kính sử dụng (tối ưu ở mức vi mô) |
| Bàn máy (Stage) | Bàn XY điều khiển tự động (Motorized) |
| Trục Z (Z-axis) |
Dẫn động tự động có độ chính xác cao phục vụ quá trình quét giao thoa |
| Vật liệu khung nền |
Đá Granite khối kết hợp với các hệ thống chống rung (Anti-vibration) |
| Tùy chọn vật kính |
Hỗ trợ nhiều loại vật kính giao thoa (Interferometric objectives) như Michelson hoặc Mirau với các mức phóng đại khác nhau |
| Đối tượng đo lường tối ưu |
Tấm Wafer bán dẫn, thấu kính quang học, linh kiện vi cơ điện tử (MEMS), bề mặt kim loại siêu bóng |
| Các thông số phân tích chính |
Nhám 3D (Sa, Sq, Sz...), độ phẳng, chiều cao bậc (Step height analysis) |
| Tiêu chuẩn tuân thủ |
Các tiêu chuẩn đo lường quốc tế hiện hành như ISO 25178 (Nhám 3D), ISO 4287 |
| Phần mềm điều khiển |
Giao diện phần mềm thông minh, tái tạo hình ảnh 3D màu sắc thực tế và kết xuất báo cáo tự động |
1. Lịch sử hình thành
Tên của Mahr theo truyền thống gắn liền với chất lượng, độ chính xác và sự đổi mới. MAHR tự hào vì đã đạt được và đồng hành cùng nhiều cột mốc kỹ thuật có tính lịch sử quan trọng của nhân loại:
Những người sáng lập đầu tiên của Mahr
2. Quy mô công ty
Hiện nay, tập đoàn đã có gần 2000 nhân sự với văn phòng đại diện tại 20 khu vực phân bố tại Châu Mỹ, Châu Á và Châu Âu cùng với 39 đại lý trên khắp thế giới. Mahr thực sự đã tạo ra sức ảnh hưởng rộng rãi của mình trên khắp toàn thế giới.
Trụ sở chính của Mahr tại Đức
3. Các nhóm sản phẩm chính
Mahr tập trung vào 3 nhóm sản phẩm chính, bao gồm:
Các sản phẩm của Mahr được sản xuất trên dây chuyền quy củ và hiện đại, nhằm đem đến những sản phẩm chất lượng cao nhất và thân thiện với người tiêu dùng. Mahr có đến hơn 8000 sản phẩm các loại giúp cho người tiêu dùng dễ dàng lựa chọn các sản phẩm cho nhu cầu của mình
Các sản phẩm đa dạng của Mahr
4. Lý do nên chọn mua các sản phẩm của Mahr
Khách hàng nên chọn mua các sản phẩm của Mahr nhờ những ưu điểm tuyệt vời sau:
Hiện nay, V-Proud tự hào là đại diện phân phối chính hãng các sản phẩm của Mahr tại thị trường Việt Nam. Với những chính sách tốt về giá và dịch vụ sau bán hàng chuyên nghiệp, chúng tôi tự tin mang đến cho khách hàng những trải nghiệm tốt nhất về sản phẩm Mahr, với giá thành hợp lý và chất lượng dịch vụ tuyệt vời.
Tham khảo các sản phẩm của Mahr tại đây.
(84) 896 555 247