Máy đo biên dạng bề mặt không chạm MarSurf WI 50 M

MarSurf WI 50 M là hệ thống máy đo bề mặt 3D quang học siêu chính xác đến từ thương hiệu Mahr (Đức), hoạt động dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry - WLI). Đây là một trong những công nghệ đo lường quang học tiên tiến nhất hiện nay, cho phép phân tích vi hình học, độ nhám và độ phẳng của bề mặt với độ phân giải đạt mức dưới nanomet (sub-nanometer).

MarSurf WI 50 M là hệ thống máy đo bề mặt 3D quang học siêu chính xác đến từ thương hiệu Mahr (Đức), hoạt động dựa trên nguyên lý giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry - WLI). Đây là một trong những công nghệ đo lường quang học tiên tiến nhất hiện nay, cho phép phân tích vi hình học, độ nhám và độ phẳng của bề mặt với độ phân giải đạt mức dưới nanomet (sub-nanometer).

Khác với các hệ thống quét thông thường, công nghệ giao thoa ánh sáng trắng trên MarSurf WI 50 M có một đặc điểm độc đáo: độ phân giải theo trục Z (chiều sâu) là tuyệt đối và không bị phụ thuộc vào độ phóng đại của vật kính. Thiết bị này là lựa chọn tối ưu hàng đầu cho các viện nghiên cứu, phòng thí nghiệm QA/QC trong ngành công nghiệp bán dẫn, quang học, điện tử viễn thông và công nghệ y sinh – nơi yêu cầu những phép đo có độ chính xác gần như tuyệt đối.

Hệ thống MarSurf WI 50 M mang đến những lợi thế kỹ thuật vượt trội, đáp ứng các tiêu chuẩn đo lường khắt khe nhất:

  • Độ phân giải trục Z siêu việt: Khả năng đo chiều sâu đạt mức sub-nanometer (dưới 1 nanomet), giúp thiết bị dễ dàng phát hiện những vi cấu trúc siêu mỏng, các bậc (step height) cực nhỏ trên bề mặt linh kiện bán dẫn hoặc thấu kính quang học.

  • Không phụ thuộc vào vật kính (Objective-independent Z-resolution): Dù bạn sử dụng vật kính có độ phóng đại thấp (để có trường nhìn rộng) hay vật kính phóng đại cao, độ phân giải theo trục Z vẫn được giữ nguyên ở mức tối đa. Điều này giúp tối ưu hóa cả thời gian đo và độ chính xác.

  • Đo lường không tiếp xúc hoàn hảo: Sử dụng hoàn toàn ánh sáng quang học, không có đầu dò cơ học, đảm bảo không gây ra bất kỳ tác động, trầy xước hay biến dạng nào lên các vật mẫu siêu nhạy cảm.

  • Hiệu suất xuất sắc trên bề mặt phản xạ cao: Công nghệ WLI đặc biệt tỏ ra ưu việt khi đo lường các bề mặt siêu bóng, gương phản xạ, thủy tinh, tấm wafer bán dẫn và bề mặt kim loại được đánh bóng (polished surfaces) mà các phương pháp quang học khác thường gặp khó khăn.

  • Tính ổn định và chống rung tối đa: Toàn bộ hệ thống cơ khí và quang học được đặt trên nền đá granite khối vững chắc, kết hợp với các giải pháp chống rung thụ động/chủ động, loại bỏ hoàn toàn các nhiễu động từ môi trường bên ngoài để đảm bảo độ lặp lại xuất sắc.

  • Phân tích đa chiều: Hệ thống có thể đánh giá độ nhám 2D/3D, độ phẳng, biên dạng bậc (step height) và phân tích các cấu trúc siêu nhỏ phức tạp thông qua phần mềm điều khiển và đánh giá chuyên nghiệp chuẩn ISO.

Hạng mục Thông số kỹ thuật
Nguyên lý đo lường Giao thoa ánh sáng trắng (White Light Interferometry - WLI)
Độ phân giải dọc (Trục Z)

Dưới 1 nanomet (Sub-nanometer), độc lập với độ phóng đại của vật kính

Độ phân giải ngang (Trục X/Y) Phụ thuộc vào vật kính sử dụng (tối ưu ở mức vi mô)
Bàn máy (Stage) Bàn XY điều khiển tự động (Motorized)
Trục Z (Z-axis)

Dẫn động tự động có độ chính xác cao phục vụ quá trình quét giao thoa

Vật liệu khung nền

Đá Granite khối kết hợp với các hệ thống chống rung (Anti-vibration)

Tùy chọn vật kính

Hỗ trợ nhiều loại vật kính giao thoa (Interferometric objectives) như Michelson hoặc Mirau với các mức phóng đại khác nhau

Đối tượng đo lường tối ưu

Tấm Wafer bán dẫn, thấu kính quang học, linh kiện vi cơ điện tử (MEMS), bề mặt kim loại siêu bóng

Các thông số phân tích chính

Nhám 3D (Sa, Sq, Sz...), độ phẳng, chiều cao bậc (Step height analysis)

Tiêu chuẩn tuân thủ

Các tiêu chuẩn đo lường quốc tế hiện hành như ISO 25178 (Nhám 3D), ISO 4287

Phần mềm điều khiển

Giao diện phần mềm thông minh, tái tạo hình ảnh 3D màu sắc thực tế và kết xuất báo cáo tự động

 

1. Lịch sử hình thành

Tên của Mahr theo truyền thống gắn liền với chất lượng, độ chính xác và sự đổi mới. MAHR tự hào vì đã đạt được và đồng hành cùng nhiều cột mốc kỹ thuật có tính lịch sử quan trọng của nhân loại:

  • Năm 1861: Carl Mahr thành lập một doanh nghiệp gia đình nhỏ ở thị trấn Esslingen am Neckar. Đây được coi là công ty mẹ của Mahr sau này.

Những người sáng lập đầu tiên của Mahr

  • Năm 1871: Mahr giới thiệu máy đo đầu tiên. Với sự ra đời của đồng hồ đo cùng với tiêu chuẩn hóa inch, foot, cubit, que và dặm; thước cặp của Mahr được bán cho các xưởng và nhà máy trên toàn khu vực.
  • Năm 1936: Mahr mở nhà máy ở Göttingen. Công việc kinh doanh phát đạt, sự đúng giờ và chính xác của Mahr được khách hàng đánh giá cao.
  • Năm 1947: Mahr mở rộng lĩnh vực chuyên môn của mình: ngoài việc sản xuất các công cụ chính xác cho ngành công nghiệp, việc sản xuất máy bơm quay cũng bắt đầu đi vào hoạt động.
  • Năm 1957: Sản xuất các vòng bi chính xác đầu tiên. Việc mở rộng dòng sản phẩm này được tiến hành dưới sự quản lý của Carl Fritz Mahr, con trai của Carl Mahr II
  • Năm 1970: MAHR bắt đầu quá trình quốc tế hóa, thành lập các công ty nước ngoài đầu tiên tại Pháp và Hoa Kỳ. Từ đây, Mahr mở rộng phạm vi sản phẩm của mình và đến năm 1995, thương hiệu Mahr chính thức được sử dụng và bắt đầu triển khai mở rộng trên phạm vi toàn thế giới.
  • Năm 2016: Các thiết bị đo cầm tay điện tử của Mahr được trang bị công nghệ không dây, đây được coi là một sự đổi mới đột phá của hãng.

2. Quy mô công ty

Hiện nay, tập đoàn đã có gần 2000 nhân sự với văn phòng đại diện tại 20 khu vực phân bố tại Châu Mỹ, Châu Á và Châu Âu cùng với 39 đại lý trên khắp thế giới. Mahr thực sự đã tạo ra sức ảnh hưởng rộng rãi của mình trên khắp toàn thế giới.

 

Trụ sở chính của Mahr tại Đức

3. Các nhóm sản phẩm chính

Mahr tập trung vào 3 nhóm sản phẩm chính, bao gồm:

  • Các dụng cụ đo lường cầm tay: thước cặp điện tử MarCal, panme Micromar, đồng hồ so quay số/ điện tử MarCator,…
  • Hệ thống máy đo và thiết bị hiệu chuẩn: bộ căn mẫu MarGage, dụng cụ đo chiều cao Digimar, máy đo chiều dài Precimar, máy đo độ nhám và biên dạng MarSurf,…
  • Dưỡng kiểm, sản xuất vòng bi chính xác: máy đo kiểm bánh răng MarGear, vòng bi hành trình quay MarMotion,..

Các sản phẩm của Mahr được sản xuất trên dây chuyền quy củ và hiện đại, nhằm đem đến những sản phẩm chất lượng cao nhất và thân thiện với người tiêu dùng. Mahr có đến hơn 8000 sản phẩm các loại giúp cho người tiêu dùng dễ dàng lựa chọn các sản phẩm cho nhu cầu của mình

Các sản phẩm đa dạng của Mahr

4. Lý do nên chọn mua các sản phẩm của Mahr

Khách hàng nên chọn mua các sản phẩm của Mahr nhờ những ưu điểm tuyệt vời sau:

  • Sản phẩm đa dạng, luôn luôn đổi mới và cải tiến liên tục: tích hợp công nghệ không dây, phím điều khiển cảm ứng có thể sử dụng găng tay để đo,….
  • Thương hiệu cao cấp được tin dùng và được sử dụng rộng rãi tại Đức và các nước Châu Âu.
  • Chất lượng sản phẩm được công nhận thông qua các chứng chỉ như DIN EN/IEC 17025:2018, đây là chứng chỉ được công nhận bởi Cơ quan công nhận của Đức (DAkkS)
  • Dịch vụ hậu mãi đầy đủ, chuyên nghiệp, luôn sẵn sàng hỗ trợ người dùng trong suốt vòng đời của sản phẩm.
  • Giá tốt so với các sản phẩm cùng loại của đối thủ.

Hiện nay, V-Proud tự hào là đại diện phân phối chính hãng các sản phẩm của Mahr tại thị trường Việt Nam. Với những chính sách tốt về giá và dịch vụ sau bán hàng chuyên nghiệp, chúng tôi tự tin mang đến cho khách hàng những trải nghiệm tốt nhất về sản phẩm Mahr, với giá thành hợp lý và chất lượng dịch vụ tuyệt vời.

Tham khảo các sản phẩm của Mahr tại đây

Zalo

(84) 896 555 247